與此同時，在硅片材料外，對華出口限制了先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)最重要的兩大工具——EDA軟件和制造設(shè)備（含EUV光刻機(jī)）。但在此之前，西方公開的出口管制政策一直停留在7nm-14nm節(jié)點(diǎn)，12英寸硅片也是如此。

公布該消息的立昂微成立于2002年3月，創(chuàng)始人闕端麟院士是中國最早研究硅材料的科學(xué)家之一，曾任浙江大學(xué)副校長。

2000年，闕端麟院士創(chuàng)辦硅片制造企業(yè)浙江金瑞泓（現(xiàn)為立昂微子公司），2010年承擔(dān)了02專項的“200mm硅片研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化及300mm硅片關(guān)鍵技術(shù)研究”項目，目前已建成15萬片的12英寸硅片產(chǎn)能，在圖像傳感器件和功率器件上已實(shí)現(xiàn)大規(guī)模出貨。

而另一家承擔(dān)了02專項的大硅片制造企業(yè)為張汝京博士創(chuàng)辦的上海新昇（現(xiàn)為滬硅產(chǎn)業(yè)子公司）。

作為一開始就瞄準(zhǔn)“12英寸硅片卡脖子”的明星企業(yè)，上海新昇不負(fù)眾望，開發(fā)出用于20-14nm先進(jìn)邏輯和存儲器的300mm硅片技術(shù)，目前已建設(shè)完成30萬片月產(chǎn)能的生產(chǎn)線，累計實(shí)現(xiàn)銷售達(dá)到600萬片。

此外，產(chǎn)能上有望解決晶圓廠“燃眉之急”的12英寸硅片制造企業(yè)還有中環(huán)股份、有研半導(dǎo)體、中欣晶圓、奕斯偉、上海超硅等。

但12英寸晶圓已經(jīng)量產(chǎn)使用超過20年，這些國產(chǎn)“后生”追趕的難度也是顯而易見的。一是部分企業(yè)投資存在不確定性，存在泡沫產(chǎn)能無法落地；二是產(chǎn)品市場上，大部分企業(yè)沒有突破到40nm以內(nèi)邏輯制程正片的規(guī)模出貨；三是缺乏規(guī)模優(yōu)勢難以獲得市場認(rèn)可，成熟工藝市場和五大國際硅片廠（日本信越、勝高、臺灣環(huán)球晶圓、德國Siltronic和韓國SK Siltron）動輒百萬片的產(chǎn)能及成本難以競爭。

這次的28nm管制，能刺激國內(nèi)晶圓廠和硅片廠“結(jié)盟”并在材料領(lǐng)域掀起“替代潮”嗎？



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